ニコンが蘭ＡＳＭＬなど提訴、露光装置の特許侵害主張

2017-04-24

［東京／フランクフルト　２４日　ロイター］ - ニコンは２４日、オランダＡＳＭＬとドイツ光学機器大手カールツァイスが半導体露光装置に関する特許を侵害しているとして、特許技術が使われている同装置などの販売差し止めと損賠賠償を求める訴えをオランダ、ドイツ、日本で起こしたと発表した。